Александр Гридчин: Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие

Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.

Автор: Гридчин Александр Викторович
Издательство: Инфра-Инженерия, 2024 г.
ISBN: 978-5-9729-1613-9
Страниц: 232 (Офсет)
Масса: 390 г
Размеры: 217x154x14 мм