Игнатов, Фадеева, Величко: Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники. Учебное пособие

Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование.
Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника", 11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.

Автор: Игнатов Александр Николаевич, Величко Александр Андреевич, Фадеева Наталья Евгеньевна
Редактор: Игнатов Александр Николаевич
Издательство: Инфра-Инженерия, 2023 г.
ISBN: 978-5-9729-1316-9
Страниц: 352 (Офсет)
Масса: 548 г
Размеры: 216x155x24 мм